Persiapan dan pemrosesantarget zirkoniumLibatkan beberapa langkah, termasuk persiapan bahan baku, persiapan target kosong, pemrosesan menjadi bahan target, dan perawatan sebelum sputtering magnetron. Proses spesifiknya adalah sebagai berikut:
Persiapan Bahan Baku: Gunakan bubuk zirkonium murni atau bubuk paduan zirkonium sebagai bahan baku, dan kemurnian biasanya diperlukan untuk lebih besar dari atau sama dengan 99,9%. Jika bubuk paduan digunakan, berbagai proporsi bubuk zirkonium dan bubuk paduan perlu dicampur secara merata sesuai dengan proporsi yang dirancang.
Menekan: Serbuk campuran ditekan menjadi kosong oleh mesin penekanan. Metode pembentukan yang umum digunakan termasuk cold isostatic pressing (CIP) dan hot isostatic pressing (HIP). Penekanan isostatik dingin cocok untuk penekanan suhu rendah dan cocok untuk penekanan bubuk langsung; Pressing isostatik panas cocok untuk penekanan suhu tinggi, yang selanjutnya dapat menghilangkan pori-pori dan kotoran dalam bubuk dan meningkatkan kepadatan.
Sintering: Blank yang ditekan disinter pada suhu tinggi, biasanya dengan hot isostatic pressing (pinggul). Suhu dan waktu sintering perlu disesuaikan sesuai dengan persyaratan material dan proses tertentu, biasanya di atas 1500 derajat. Selama proses sintering, perlu untuk mengendalikan atmosfer untuk menghindari oksidasi dan kontaminasi.
Finishing: The Sintered Blank diproses ke dalam bentuk target yang diinginkan, seperti disk, dengan metode pemrosesan mekanis seperti berputar, penggilingan, dan penggilingan. Gunakan peralatan pemrosesan presisi tinggi untuk memastikan akurasi dimensi dan kualitas permukaan target.
Perawatan Permukaan: Target yang diproses mengalami perlakuan permukaan seperti pemolesan atau pemolesan kimia untuk meningkatkan permukaan dan keseragaman permukaan. Pembersihan ultrasonik dan pembersihan kimia digunakan untuk menghilangkan kotoran dan oksida di permukaan.
Inspeksi Kualitas: Target zirkonium yang disiapkan mengalami inspeksi kualitas, termasuk akurasi dimensi, kekasaran permukaan, komposisi kimia, kepadatan, dll. Gunakan difraksi sinar-X (XRD), pemindaian mikroskop elektron (SEM) dan peralatan lainnya untuk inspeksi.
Tampilan gambar detail produk target zirkonium
